石墨零件使用壽命短的原因
在單晶硅生產(chǎn)中,經(jīng)常會(huì)發(fā)現(xiàn)石墨零件的使用壽命比預(yù)期的要短得多。由于更換了太多的石墨裝置,增加了石墨煅燒的頻率和電耗,不僅增加了企業(yè)的生產(chǎn)成本,也制約了產(chǎn)能的有效利用。
出現(xiàn)這種情況有幾個(gè)原因
1.選材不對(duì)
由于石墨制品在熱場(chǎng)中的作用不同,所用材料也會(huì)有所不同。通常,電極、連桿、加熱器、加熱器螺桿、石墨坩堝、導(dǎo)管、導(dǎo)管支撐環(huán)、絕緣管等應(yīng)采用等靜壓生產(chǎn)的結(jié)構(gòu)優(yōu)良、強(qiáng)度高的石墨材料加工,以滿足生產(chǎn)的實(shí)際需要。
其它器件,如底盤(pán)、反射鏡、防漏板、上蓋板等,可采用擠壓或中粗結(jié)構(gòu)石墨制造。前提是在生產(chǎn)中,能保證滿足生產(chǎn)要求。
2.設(shè)計(jì)不合理
在石墨零件的使用中,一些看似由石墨問(wèn)題引起的事故,實(shí)際上是由設(shè)計(jì)缺陷引起的。
因此,在設(shè)計(jì)石墨零件時(shí),除了要考慮材料本身的牌號(hào)和規(guī)格外,還必須充分考慮石墨零件在使用中的強(qiáng)度,并確定其幾何尺寸。
3.使用不當(dāng)
在石墨零件的許多使用問(wèn)題中,石墨坩堝的斷裂占很大比例,使用不當(dāng)是不可忽視的主要原因。
在正常情況下,一個(gè)18“或20”的石墨坩堝可用于大約45爐。然而,雖然有許多石墨坩堝在設(shè)計(jì)、選材、加工、煅燒等方面沒(méi)有出現(xiàn)問(wèn)題,但其使用壽命仍然很短,有的石墨坩堝在破碎后從橫截面上看還遠(yuǎn)未達(dá)到自然損耗程度。