隨著社會經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，許多單晶硅生產(chǎn)商都擅長石墨熱場的應(yīng)用，原因有二：正面和石墨氈隔熱效果好，厚度達(dá)100mm，有效保證了徑向梯度溫度可能較小的條件，其次，長時(shí)間加熱的原因是石墨坩堝的厚度可以達(dá)到250mm，并且可以制作粘結(jié)樣品，因此上、中、下保溫筒的直徑將足夠大，以具有足夠的縱向散熱功能。眾所周知，石墨坩堝使用方法中存在的問題將導(dǎo)致石墨坩堝使用時(shí)間的縮短，進(jìn)而增加制造商的成本。我們有制造石墨坩堝和熱場工件的經(jīng)驗(yàn)。讓我們談?wù)勈珶釄錾a(chǎn)中常見的問題以及我們應(yīng)該如何處理這些問題。

熱場的部件，如加熱器、三瓣罐、石墨支架和熱屏，均由石墨加工而成。在生產(chǎn)過程中，經(jīng)常會遇到加熱設(shè)備損壞的現(xiàn)象。石墨設(shè)備損壞的原因是什么？應(yīng)采用什么方法延長石墨設(shè)備的使用壽命？石墨設(shè)備損壞的主要原因有兩個(gè)：人為損壞和變質(zhì)。在人的方面，只要我們加強(qiáng)管理，增強(qiáng)員工的防范意識，就能將損失降到最低。這里的主要話題是惡化。首先，讓我們了解一下石墨的相關(guān)特性，

1.耐高溫。石墨的熔點(diǎn)較高，在真空下為3850℃，在低壓下為2200℃。與普通材料不同，石墨不會隨著溫度的升高而軟化，但其強(qiáng)度會增加。在2500℃時(shí)，石墨的抗拉強(qiáng)度加倍。

2.特殊的抗熱震性。石墨的熱膨脹是各向異性的，因此微膨脹系數(shù)很小。在溫度突變的情況下，石墨的體積變化也很小。此外，其優(yōu)良的導(dǎo)熱性能，使石墨的抗熱震性極佳。如上兩點(diǎn)所述，石墨零件應(yīng)能在高溫下長期穩(wěn)定工作。

在正常情況下，與其他石墨設(shè)備（如隔熱罩和加熱器）相比，花瓣罐是相同的材料、相同的制造商和相同的工作環(huán)境。為什么使用壽命遠(yuǎn)低于隔熱罩和加熱器？三瓣坩堝開裂的主要原因是石英坩堝。1.由于熔融硅的密度大于固態(tài)硅的密度，因此在冷卻過程中，坩堝的底部材料將打破石英坩堝，石英坩堝連接到三瓣坩堝上。當(dāng)石英坩堝開裂產(chǎn)生的應(yīng)力大于三瓣坩堝承受的應(yīng)力時(shí)，三瓣坩堝會開裂，這就是為什么底部材料過多會損壞三片坩堝的原因。2.加熱時(shí)間過長、石英坩堝質(zhì)量差、原料pH值達(dá)不到要求等都會導(dǎo)致漏硅、滲硅。熔融硅進(jìn)入三瓣坩堝間隙冷卻后，一個(gè)是支撐三瓣坩堝，另一個(gè)是使三瓣坩堝粘結(jié)在一起，使三瓣坩堝在清爐時(shí)分別形成裂紋。3.在加熱過程中，只有三瓣坩堝的熱源來自兩個(gè)方面：一個(gè)是加熱器的輻射，另一個(gè)是石英坩堝的傳導(dǎo)，這導(dǎo)致三瓣坩堝在加熱過程中加熱不均勻，在某些方向膨脹，在其他方向收縮，然后導(dǎo)致三瓣坩堝開裂。